該系列真空泵可單獨使用，亦可作為增壓泵、擴散泵、分子泵及鈦泵使用，設有氣陣閥時，可抽送適量的可凝氣體、濕空氣或氣水混合氣體，但介質中不能含有顆粒狀固體物質。

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